Das kapazitive Messver­fahren beruht auf der Messung von Änderungen der elektri­schen Kapazität zwischen zwei Elektroden. Da Wasser eine deutlich höhere Dielek­tri­zi­täts­kon­stante besitzt als die meisten Baustoffe, führt Feuch­te­ein­tritt zu messbaren Kapazi­täts­än­de­rungen. Im Flach­dach­mo­ni­toring werden dafür häufig leitfähige Kontakt­lagen und Gegen­elek­troden einge­setzt. Das Verfahren ermög­licht eine empfind­liche Detektion von Feuchte, kann aber eine sorgfältige Kalibrierung und Inter­pre­tation der Messwerte erfordern. Kapazitive Messsysteme eignen sich besonders für vollflä­chige Überwa­chungs­lö­sungen.