Das kapazitive Messverfahren beruht auf der Messung von Änderungen der elektrischen Kapazität zwischen zwei Elektroden. Da Wasser eine deutlich höhere Dielektrizitätskonstante besitzt als die meisten Baustoffe, führt Feuchteeintritt zu messbaren Kapazitätsänderungen. Im Flachdachmonitoring werden dafür häufig leitfähige Kontaktlagen und Gegenelektroden eingesetzt. Das Verfahren ermöglicht eine empfindliche Detektion von Feuchte, kann aber eine sorgfältige Kalibrierung und Interpretation der Messwerte erfordern. Kapazitive Messsysteme eignen sich besonders für vollflächige Überwachungslösungen.